物理消毒法包括紫外線、層流式通風過濾除菌等;化學消毒法包括乳酸、甲醛等熏蒸法。紫外線、乳酸、甲醛等臨床上常用的傳統(tǒng)消毒方法,在此不再贅述。作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低。
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